開箱台大半導體無塵室！4億打造人才訓練平台開放各校使用

國科會與台大合計投入4億，於台北水源校區建置半導體無塵室訓練場域，提供解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、以及奈米材料與半導體元件量測等設備，且不僅限於校內，國內半導體研究單位、團隊皆可申請，近3年已突破1萬2000人次。





台大重點科技研究學院在國科會晶創台灣方案支持下，由國科會投入約3億，加上台大校方約1億經費，共同挹注於水源校區建置先進半導體製程研究場域，今（10/1）日並舉行記者會公布成果。

國科會半導體核心設施建置專案計畫辦公室召集人、暨南大學校長武東星表示，全國大學半導體相關研究過去問題，是設備跟不上，如今在國科會計畫下，支持了台大部份的11台設備，而包含清大、陽明交大、中山等在內的全國7個半導體學院，3年來在北中南共支持了60台單項超過1000萬的重點設備，目標是人才培育，不僅限於校內，所有教授、師生團隊只要想進行半導體研究，都可以透過一站式網站申請。



台大重點科技研究學院院長吳志毅說明，台大過去不是沒有無塵室，但散落在各處，沒有群聚效應，樣品要在不同位置間運送效果不佳，晶創計畫支持讓台大校區的無塵室可以升級設備，也藉機更新半導體設備到可以跟國外名校競爭，也可以支持北區各校半導體研究，而在業界方面，台大跟台積電至少有40、50件長期產學計畫，也有跟力機電、鈺創等也長期合作，他並補充，業界設備比較適合量產，台大的設備是互補角度。







重點設備建置計畫主持人陳建甫說明，台大無塵室支援解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、以及奈米材料與半導體元件量測等設備，目標是讓學生「把想法做出來」，不是為了量產，目前使用人次近3年累計超過1萬2000人次，其中台大校內約占7成，校外約3成，使用者須經過中心的訓練與檢定課程才能操作設備，而在人才紮根上，台大114、115學年度的半導體製程與設備課程，每年達130人參加，115學年度再增開無塵室安全與先進設備導覽、半導體微製程與晶圓分析課程，預計50人。







台大說明，目前已與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創、閎康等企業合作，產學合作金額約8400萬元，國際合作上，並與美國賓夕法尼亞大學共同成立半導體研究中心，推動跨國專題研究與人才共同培育。

武東星並針對國際合作補充，台灣7個半導體學院都有國際合作目標，除了賓大外還有包括日本的熊本大學等，他提到，台積電在日設廠帶動了台日大學整合，現在日本留台的學生越來越多，許多都指名要學半導體。