【節水你也行2-2】台積電一滴水用3.5次的旅程 關鍵要靠回收再利用

晶圓製造是高耗水產業，台積電公司靠著一滴水用3.5次的承諾，要擺脫這個刻板印象。其官網指出，台積公司為提高水資源的使用效率，將純水設備及製程機台的排放水依照其乾淨程度分級，透過製程分流的排水管路及建置各種用水回收系統，一滴水進台積公司廠區平均可使用3.5次，創造一滴水350%的使用率。

一滴水怎麼用3.5次呢？按台積公司算法，是把（自來水用量+回收水量）÷自來水用量=一滴水運用次數。

因此，要增加一滴水的運用次數，那麼回收水量多寡，就是關鍵中的關鍵。



從台積公司網站得知，包括雨水、生活用水所產生的污水、空調冷凝水，以及製程產生的氣體洗滌廢水、無塵室空氣洗滌、超純水系統回收水，全都是回收再利用的水源。

而今年經濟部水利署舉辦「2023節水績優獎表揚典禮」，台積電位在竹科的晶圓三廠，雖然已是30年的老廠區，仍因提升系統產水率、提升廠務廢水回收、降低廠務系統用水、降低系統排水損失等四大節水措施，獲得產業組優等獎。

水利署表示，台積晶圓三廠以製程水回收率85%為目標，透過老舊廠區翻新規劃，即便是30年老廠，也達到新建廠的環評承諾。

包括30年的廠區，當年建廠時未設置雨水回收系統，也仍排除萬難裝置雨水貯留設備，並將收集後的雨水，供應給次級用水系統使用。

此外，30年的老廠，管路因長期使用難免脆化，因此汰換後，讓總漏水率降低80%。每年漏水量從16,250噸，減少到3,087噸，降低不必要浪費。此外，也透過E化用水監測自動化系統，每日監控用水量。

水利署指出，台積晶圓三廠當初投資4,054萬元進行節水，每年卻省下水費4,740萬元，年省395萬噸用水，減少碳排600公噸。

據經濟部水利署公布，除了台積晶圓三廠，其他節水獲獎的製造業大廠，包括友達光電后里廠獲得產業組特優、日月光高雄K12廠是產業組優等。

友達光電表示，后里廠是在過去水資源管理經驗的基礎上，整合內外部用水單位資料，並開發水情中心智慧管理平台，進而提升水資源效率。此外，友達后里廠的製程用水回水率高達近94%，2021年的自來水用量減少85萬噸，年省水費1,093萬元。

日月光高雄K12廠則除了裝設省水龍頭、省水馬桶，也設置雨水回收池、改善製程設備，並且落實水資源回收再利用，包括放流水、研磨廢水回收再利用，冷卻水塔排水導入水洗塔，有藥清洗排水回收後，補水再利用。水利署表示，日月光K12廠每年省水94萬噸，年省水費1,460萬元。